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X轴1nm分辨率闭环控制自动位移台

说明

可实现1nm分辨率定位的闭环控制平台。
相对高扭矩的FS-SPX系列而言，FS-UPX系列更适合高速的运动。
在平台中央位置内置了西格玛光机开发的光栅尺位置检测系统。读取该光栅尺的位置信息实现高分辨率的闭环控制、重复定位精度（位置再现性），以及位置的保持精度。
备有2个不同行程规格（20mm，50mm）的产品。

产地：日本

产品介绍

产品描述

●适用于常规大气环境，另有对应的真空环境专用产品。
●最大移动行程量可以达到50mm。
●配合专用控制器FC-911。
●可以设置作为Z轴使用，但是如果想避免自重掉落的话，推荐高扭矩型SPX(MD)系列。

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