可实现5nm分辨率定位的闭环控制平台。 在平台中央位置内置了本公司开发的光栅尺位置检测系统。 读取该光栅尺的位置信息实现高分辨率的闭环控制、重复定位精度（位置再现性），以及位置的保持精度。 备有2个不同行程规格（20mm，50mm）的产品。
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FS-1020SPX |
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X轴5nm分辨率闭环控制电动位移台 /FS-1020SPX
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FS-1050SPX |
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X轴5nm分辨率闭环控制电动位移台 /FS-1050SPX
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