使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台，经CE和UKCA认证。内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。10nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择。由于采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，有各种行程和台面尺寸可供选择。从提高可用性的观点出发，实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。
RoHS 是
C E 是
信息
控制器请选用NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。
注意
●请在温度变化幅度不大的环境中使用。（推荐：23±1℃）
●请尽量在振动较小的环境中使用。或采取一定的防振措施。
●请在没有油雾的环境中使用。光栅尺如果被污染的话可能会产生误差。
●如需安装大于台面尺寸的工件，请向我们咨询。
| 电机 类型 | 5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR(株))<NFS60-20PX/40PX 5相步进电机 0.35A/相(ORIENTAL MOTOR(株))> |
| 电机 型号 | PK545NBW(□42) <NFS60-20PX/40PX PK523PMB-C5(□28)> |
| 分辨率 | 连接到SHRC搭配控制器后，AutoConfig功能自动设定分辨率。 |
| 重复/定位精度 | 启用多点纠错功能时的数值。 |
| 微小范围重复定位精度 | 在微小范围内进行重复定位精度测量(ISO)所得到的结果。NFS-UPX系列10nm闭环控制平台测量步长(间距)：50nm |
| 表面处理 | 黑色氧化 | ||
| 导轨形式 | 十字交叉滚柱导轨 |
| 型号 | 行程(mm) | 台面尺寸(mm) | 丝杠(mm) | 分辨率(μm/脉冲)（整步） | 分辨率(μm/脉冲)（半步） | 对比 | 单价 | 发货日期 | 购物车 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
NFS60-20PX |
20 | 75x60 | 滚珠丝杠直径φ4、导程1 | -- | -- |
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会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS60-20PX
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NFS60-40PX |
40 | 110x60 | 滚珠丝杠直径φ4、导程1 | -- | -- |
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会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS60-40PX
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NFS100-50PX |
50 | 100x100 | 滚珠丝杠直径φ8、导程1 | -- | -- |
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会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS100-50PX
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NFS100-100PX |
100 | 175x100 | 滚珠丝杠直径φ8、导程1 | -- | -- |
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会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS100-100PX
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NFS120-50PX |
50 | 120x120 | 滚珠丝杠直径φ8、导程1 | -- | -- |
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会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS120-50PX
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NFS120-100PX |
100 | 175x120 | 滚珠丝杠直径φ8、导程1 | -- | -- |
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会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS120-100PX
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NFS180-200PX |
200 | 230x180 | 滚珠丝杠直径φ10、导程2 | -- | -- |
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会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS180-200PX
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NFS180-300PX |
300 | 330x180 | 滚珠丝杠直径φ10、导程2 | -- | -- |
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会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS180-300PX
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