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50nm分辨率闭环控制电动位移台

说明

使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台，经CE和UKCA认证。内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。50nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择。由于采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，有各种行程和台面尺寸可供选择。从提高可用性的观点出发，实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

产地：日本

产品介绍

产品描述

RoHS　是

C E　　是

信息

控制器请选用NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

注意

●请在温度变化幅度不大的环境中使用。（推荐：23±1℃）
●请尽量在振动较小的环境中使用。或采取一定的防振措施。
●请在没有油雾的环境中使用。光栅尺如果被污染的话可能会产生误差。
●如需安装大于台面尺寸的工件，请向我们咨询。

电机　类型	5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR(株))<NFS60-20X/40X 5相步进电机 0.35A/相(ORIENTAL MOTOR(株))>
电机　型号	PK545NBW(□42) <NFS60-20X/40X PK523PMB-C5(□28)>
分辨率	连接到SHRC搭配控制器后，AutoConfig功能自动设定分辨率。
重复/定位精度	启用多点纠错功能时的数值。
微小范围重复定位精度	在微小范围内进行重复定位精度测量(ISO)所得到的结果。NFS-UPX系列50nm闭环控制平台测量步长(间距)：100nm

通用指标

表面处理	黑色氧化
导轨形式	十字交叉滚柱导轨

型号

行程(mm)

台面尺寸(mm)

丝杠(mm)

分辨率(μm/脉冲)（整步）

分辨率(μm/脉冲)（半步）

对比

单价

发货日期

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NFS60-20X

75x60

滚珠丝杠直径φ4、导程1

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50nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS60-20X

台面尺寸(mm)	75x60	行程(mm)	20
定位精度(μm)	1	重复定位精度(μm)	0.5
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±100	平行度(μm)	50
移动平行度(μm)	10	分辨率(整步/半步)[μm/脉冲]	2/1
光栅尺分辨率(μm)	0.05	空行程(μm)	0.5
传动副间隙(μm)	1	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.5
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.5	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.5
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
最大速度(mm/sec)	10	最小位移量(nm)(参考数据)	150
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ4、导程1	主体材料	铝合金
承载能力(N)	49（5.0kgf）	自重(kg)	0.5

NFS60-40X

110x60

滚珠丝杠直径φ4、导程1

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50nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS60-40X

台面尺寸(mm)	110x60	行程(mm)	40
定位精度(μm)	1	重复定位精度(μm)	0.5
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±100	平行度(μm)	50
移动平行度(μm)	10	分辨率(整步/半步)[μm/脉冲]	2/1
光栅尺分辨率(μm)	0.05	空行程(μm)	0.5
传动副间隙(μm)	1	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.5
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.5	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.5
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
最大速度(mm/sec)	10	最小位移量(nm)(参考数据)	150
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ4、导程1	主体材料	铝合金
承载能力(N)	49（5.0kgf）	自重(kg)	1

NFS100-50X

100x100

滚珠丝杠直径φ8、导程1

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50nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS100-50X

台面尺寸(mm)	100x100	行程(mm)	50
定位精度(μm)	1	重复定位精度(μm)	0.5
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±100	平行度(μm)	50
移动平行度(μm)	10	分辨率(整步/半步)[μm/脉冲]	2/1
光栅尺分辨率(μm)	0.05	空行程(μm)	0.5
传动副间隙(μm)	1	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.05
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.05	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.05
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
最大速度(mm/sec)	10	最小位移量(nm)(参考数据)	150
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ8、导程1	主体材料	铝合金
承载能力(N)	98（10.0kgf）	自重(kg)	2.7

NFS100-100X

100

175x100

滚珠丝杠直径φ8、导程1

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50nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS100-100X

台面尺寸(mm)	175x100	行程(mm)	100
定位精度(μm)	2	重复定位精度(μm)	0.5
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±100	平行度(μm)	50
移动平行度(μm)	10	分辨率(整步/半步)[μm/脉冲]	2/1
光栅尺分辨率(μm)	0.05	空行程(μm)	0.5
传动副间隙(μm)	1	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.05
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.05	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.05
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
最大速度(mm/sec)	10	最小位移量(nm)(参考数据)	150
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ8、导程1	主体材料	铝合金
承载能力(N)	98（10.0kgf）	自重(kg)	3.7

NFS120-50X

120x120

滚珠丝杠直径φ8、导程1

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50nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS120-50X

台面尺寸(mm)	120x120	行程(mm)	50
定位精度(μm)	1	重复定位精度(μm)	0.5
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±100	平行度(μm)	50
移动平行度(μm)	10	分辨率(整步/半步)[μm/脉冲]	2/1
光栅尺分辨率(μm)	0.05	空行程(μm)	0.5
传动副间隙(μm)	1	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.05
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.05	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.05
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
最大速度(mm/sec)	10	最小位移量(nm)(参考数据)	150
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ8、导程1	主体材料	铝合金
承载能力(N)	98（10.0kgf）	自重(kg)	3

NFS120-100X

100

175x120

滚珠丝杠直径φ8、导程1

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50nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS120-100X

台面尺寸(mm)	175x120	行程(mm)	100
定位精度(μm)	2	重复定位精度(μm)	0.5
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±100	平行度(μm)	50
移动平行度(μm)	10	分辨率(整步/半步)[μm/脉冲]	2/1
光栅尺分辨率(μm)	0.05	空行程(μm)	0.5
传动副间隙(μm)	1	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.05
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.05	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.05
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
最大速度(mm/sec)	10	最小位移量(nm)(参考数据)	150
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ8、导程1	主体材料	铝合金
承载能力(N)	98（10.0kgf）	自重(kg)	4

NFS180-200X

200

230x180

滚珠丝杠直径φ10、导程2

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50nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS180-200X

台面尺寸(mm)	230x180	行程(mm)	200
定位精度(μm)	2	重复定位精度(μm)	0.6
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±100	平行度(μm)	100
移动平行度(μm)	20	分辨率(整步/半步)[μm/脉冲]	4/2
光栅尺分辨率(μm)	0.05	空行程(μm)	0.6
传动副间隙(μm)	1	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.02
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.02	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.02
俯仰(″)	20	偏摆(″)	20
最大速度(mm/sec)	20	最小位移量(nm)(参考数据)	150
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ10、导程2	主体材料	铝合金
承载能力(N)	196（20.0kgf）	自重(kg)	13.2

NFS180-300X

300

330x180

滚珠丝杠直径φ10、导程2

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50nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS180-300X

台面尺寸(mm)	330x180	行程(mm)	300
定位精度(μm)	2	重复定位精度(μm)	0.6
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±100	平行度(μm)	100
移动平行度(μm)	20	分辨率(整步/半步)[μm/脉冲]	4/2
光栅尺分辨率(μm)	0.05	空行程(μm)	0.6
传动副间隙(μm)	1	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.02
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.02	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.02
俯仰(″)	20	偏摆(″)	20
最大速度(mm/sec)	20	最小位移量(nm)(参考数据)	150
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ10、导程2	主体材料	铝合金
承载能力(N)	196（20.0kgf）	自重(kg)	17