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大行程纳米定位平台(停产)

说明

大行程纳米定位平台attocube采用了高精度的压电陶瓷驱动技术和高刚性低成本的设计技术。

产地:日本
产品介绍
产品描述

●ESC系列平台可被用于常温和大气压环境,有些型号还可用于超高真空环境。

●ESC系列平台采用了十字交叉滚柱导轨结构,其承载能力可高达数公斤,其俯仰,方位和转动角度偏差小于0.1mrad。

●同时,其行程(max)可达50mm,单步进给量可小至50nm。另外,可选配的用于闭环控制的传感器的分辨率达1nm。attocube系列平台备有多种形式,尺寸和行程。并可直接互相组合成多轴平台。

型号 名称 行程 台面尺寸(mm) 导轨形式 承载能力(N)(垂直荷重) 对比 单价 发货日期 购物车
ECS3030-Al/RT
X轴平台(无传感器) 20mm 30×30 十字交叉滚柱 9
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大行程纳米定位平台(停产) /ECS3030-Al/RT
名称 X轴平台(无传感器) 台面尺寸(mm) 30×30
行程 20mm 导轨形式 十字交叉滚柱
闭环控制特性/分辨率 - 闭环控制特性/重复定位精度(μm) -
闭环控制特性/定位精度 - 最小开环控制特性/步进量 50nm
开环控制特性/精密定位范围 0~1.2μm 最大速度 4.5mm/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 9 自重(kg)/铝合金型 0.029
ECS3080-Al/RT
X轴平台(无传感器) 50mm 30×80 十字交叉滚柱 24
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大行程纳米定位平台(停产) /ECS3080-Al/RT
名称 X轴平台(无传感器) 台面尺寸(mm) 30×80
行程 50mm 导轨形式 十字交叉滚柱
闭环控制特性/分辨率 - 闭环控制特性/重复定位精度(μm) -
闭环控制特性/定位精度 - 最小开环控制特性/步进量 50nm
开环控制特性/精密定位范围 0~1.6μm 最大速度 4.5mm/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 24 自重(kg)/铝合金型 0.078
ECS5050-Al/RT
X轴平台(无传感器) 30mm 50×50 十字交叉滚柱 15
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大行程纳米定位平台(停产) /ECS5050-Al/RT
名称 X轴平台(无传感器) 台面尺寸(mm) 50×50
行程 30mm 导轨形式 十字交叉滚柱
闭环控制特性/分辨率 - 闭环控制特性/重复定位精度(μm) -
闭环控制特性/定位精度 - 最小开环控制特性/步进量 50nm
开环控制特性/精密定位范围 0~1.6μm 最大速度 4.5mm/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 15 自重(kg)/铝合金型 0.07
ECGt5050-Al/RT
摆动平台(无传感器) 10° 50×50 十字交叉滚柱 1
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大行程纳米定位平台(停产) /ECGt5050-Al/RT
名称 摆动平台(无传感器) 台面尺寸(mm) 50×50
行程 10° 导轨形式 十字交叉滚柱
闭环控制特性/分辨率 - 闭环控制特性/重复定位精度(μm) -
闭环控制特性/定位精度 - 最小开环控制特性/步进量 0.0001°
开环控制特性/精密定位范围 0~0.0014° 最大速度 ≈3°/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 1 自重(kg)/铝合金型 0.137
ECGp5050-Al/RT
摆动平台(无传感器) 10° 50×50 十字交叉滚柱 1
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大行程纳米定位平台(停产) /ECGp5050-Al/RT
名称 摆动平台(无传感器) 台面尺寸(mm) 50×50
行程 10° 导轨形式 十字交叉滚柱
闭环控制特性/分辨率 - 闭环控制特性/重复定位精度(μm) -
闭环控制特性/定位精度 - 最小开环控制特性/步进量 0.0001°
开环控制特性/精密定位范围 0~0.0011° 最大速度 ≈3°/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 1 自重(kg)/铝合金型 0.137
ECR3030-Al/RT
转动平台(无传感器) 360° 30×30 球轴承 2
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大行程纳米定位平台(停产) /ECR3030-Al/RT
名称 转动平台(无传感器) 台面尺寸(mm) 30×30
行程 360° 导轨形式 球轴承
闭环控制特性/分辨率 - 闭环控制特性/重复定位精度(μm) -
闭环控制特性/定位精度 - 最小开环控制特性/步进量 0.0004°
开环控制特性/精密定位范围 0~0.012° 最大速度 ≈10°/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 2 自重(kg)/铝合金型 0.028
ECR5050-Al/RT
转动平台(无传感器) 360° 50×50 球轴承 2
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大行程纳米定位平台(停产) /ECR5050-Al/RT
名称 转动平台(无传感器) 台面尺寸(mm) 50×50
行程 360° 导轨形式 球轴承
闭环控制特性/分辨率 - 闭环控制特性/重复定位精度(μm) -
闭环控制特性/定位精度 - 最小开环控制特性/步进量 0.0002°
开环控制特性/精密定位范围 0~0.006° 最大速度 ≈10°/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 2 自重(kg)/铝合金型 0.1
ECS3030-Al/NUM/RT
X轴平台(随着传感器) 20mm 30×30 十字交叉滚柱 9
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大行程纳米定位平台(停产) /ECS3030-Al/NUM/RT
名称 X轴平台(随着传感器) 台面尺寸(mm) 30×30
行程 20mm 导轨形式 十字交叉滚柱
闭环控制特性/分辨率 1nm 闭环控制特性/重复定位精度(μm) 50nm
闭环控制特性/定位精度 <0.1% of travel range 最小开环控制特性/步进量 50nm
开环控制特性/精密定位范围 0~1.2μm 最大速度 4.5mm/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 9 自重(kg)/铝合金型 0.029
ECS3080-Al/NUM/RT
X轴平台(随着传感器) 50mm 30×80 十字交叉滚柱 24
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大行程纳米定位平台(停产) /ECS3080-Al/NUM/RT
名称 X轴平台(随着传感器) 台面尺寸(mm) 30×80
行程 50mm 导轨形式 十字交叉滚柱
闭环控制特性/分辨率 1nm 闭环控制特性/重复定位精度(μm) 50nm
闭环控制特性/定位精度 <0.1% of travel range 最小开环控制特性/步进量 50nm
开环控制特性/精密定位范围 0~1.6μm 最大速度 4.5mm/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 24 自重(kg)/铝合金型 0.078
ECS5050-Al/NUM/RT
X轴平台(随着传感器) 30mm 50×50 十字交叉滚柱 15
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大行程纳米定位平台(停产) /ECS5050-Al/NUM/RT
名称 X轴平台(随着传感器) 台面尺寸(mm) 50×50
行程 30mm 导轨形式 十字交叉滚柱
闭环控制特性/分辨率 1nm 闭环控制特性/重复定位精度(μm) 50nm
闭环控制特性/定位精度 <0.1% of travel range 最小开环控制特性/步进量 50nm
开环控制特性/精密定位范围 0~1.6μm 最大速度 4.5mm/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 15 自重(kg)/铝合金型 0.07
ECGt5050-Al/NUM/RT
摆动平台(随着传感器) 10° 50×50 十字交叉滚柱 1
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大行程纳米定位平台(停产) /ECGt5050-Al/NUM/RT
名称 摆动平台(随着传感器) 台面尺寸(mm) 50×50
行程 10° 导轨形式 十字交叉滚柱
闭环控制特性/分辨率 0.000001° 闭环控制特性/重复定位精度(μm) ±0.00005°
闭环控制特性/定位精度 ≈0.001° 最小开环控制特性/步进量 0.0001°
开环控制特性/精密定位范围 0~0.0014° 最大速度 ≈3°/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 1 自重(kg)/铝合金型 0.137
ECGp5050-Al/NUM/RT
摆动平台(随着传感器) 10° 50×50 十字交叉滚柱 1
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大行程纳米定位平台(停产) /ECGp5050-Al/NUM/RT
名称 摆动平台(随着传感器) 台面尺寸(mm) 50×50
行程 10° 导轨形式 十字交叉滚柱
闭环控制特性/分辨率 0.000001° 闭环控制特性/重复定位精度(μm) ±0.00005°
闭环控制特性/定位精度 ≈0.001° 最小开环控制特性/步进量 0.0001°
开环控制特性/精密定位范围 0~0.0011° 最大速度 ≈3°/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 1 自重(kg)/铝合金型 0.137
ECR3030-Al/NUM/RT
转动平台(随着传感器) 360° 30×30 球轴承 2
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大行程纳米定位平台(停产) /ECR3030-Al/NUM/RT
名称 转动平台(随着传感器) 台面尺寸(mm) 30×30
行程 360° 导轨形式 球轴承
闭环控制特性/分辨率 0.00001° 闭环控制特性/重复定位精度(μm) ±0.0005°
闭环控制特性/定位精度 ≈0.002° 最小开环控制特性/步进量 0.0004°
开环控制特性/精密定位范围 0~0.012° 最大速度 ≈10°/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 2 自重(kg)/铝合金型 0.028
ECR5050-Al/NUM/RT
转动平台(随着传感器) 360° 50×50 球轴承 2
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大行程纳米定位平台(停产) /ECR5050-Al/NUM/RT
名称 转动平台(随着传感器) 台面尺寸(mm) 50×50
行程 360° 导轨形式 球轴承
闭环控制特性/分辨率 0.00001° 闭环控制特性/重复定位精度(μm) ±0.0005°
闭环控制特性/定位精度 ≈0.002° 最小开环控制特性/步进量 0.0002°
开环控制特性/精密定位范围 0~0.006° 最大速度 ≈10°/sec
承载能力(N)(垂直荷重) 2 自重(kg)/铝合金型 0.1
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