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芬创商城 > 产品中心 > 自动滑台 > 压电陶瓷 > 压电陶瓷平台 > 大行程纳米定位平台(停产)

大行程纳米定位平台(停产)

说明

大行程纳米定位平台attocube采用了高精度的压电陶瓷驱动技术和高刚性低成本的设计技术。

产地：日本

产品介绍

产品描述

●ESC系列平台可被用于常温和大气压环境，有些型号还可用于超高真空环境。
●ESC系列平台采用了十字交叉滚柱导轨结构，其承载能力可高达数公斤，其俯仰，方位和转动角度偏差小于0.1mrad。
●同时，其行程(max)可达50mm,单步进给量可小至50nm。
另外，可选配的用于闭环控制的传感器的分辨率达1nm。
attocube系列平台备有多种形式，尺寸和行程。
并可直接互相组合成多轴平台。

型号

对比

单价

发货日期

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ECS3030-Al/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECS3030-Al/RT

名称	X轴平台（无传感器）	闭环控制特性/分辨率	-
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	-	闭环控制特性/定位精度	-
最小开环控制特性/步进量	50nm	开环控制特性/精密定位范围	0～1.2μm
行程	20mm	台面尺寸(mm)	30×30
导轨形式	十字交叉滚柱	自重(kg)/铝合金型	0.029
最大速度	4.5mm/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	9

ECS3080-Al/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECS3080-Al/RT

名称	X轴平台（无传感器）	闭环控制特性/分辨率	-
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	-	闭环控制特性/定位精度	-
最小开环控制特性/步进量	50nm	开环控制特性/精密定位范围	0～1.6μm
行程	50mm	台面尺寸(mm)	30×80
导轨形式	十字交叉滚柱	自重(kg)/铝合金型	0.078
最大速度	4.5mm/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	24

ECS5050-Al/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECS5050-Al/RT

名称	X轴平台（无传感器）	闭环控制特性/分辨率	-
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	-	闭环控制特性/定位精度	-
最小开环控制特性/步进量	50nm	开环控制特性/精密定位范围	0～1.6μm
行程	30mm	台面尺寸(mm)	50×50
导轨形式	十字交叉滚柱	自重(kg)/铝合金型	0.07
最大速度	4.5mm/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	15

ECGt5050-Al/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECGt5050-Al/RT

名称	摆动平台（无传感器）	闭环控制特性/分辨率	-
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	-	闭环控制特性/定位精度	-
最小开环控制特性/步进量	0.0001°	开环控制特性/精密定位范围	0～0.0014°
行程	10°	台面尺寸(mm)	50×50
导轨形式	十字交叉滚柱	自重(kg)/铝合金型	0.137
最大速度	≈3°/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	1

ECGp5050-Al/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECGp5050-Al/RT

名称	摆动平台（无传感器）	闭环控制特性/分辨率	-
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	-	闭环控制特性/定位精度	-
最小开环控制特性/步进量	0.0001°	开环控制特性/精密定位范围	0～0.0011°
行程	10°	台面尺寸(mm)	50×50
导轨形式	十字交叉滚柱	自重(kg)/铝合金型	0.137
最大速度	≈3°/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	1

ECR3030-Al/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECR3030-Al/RT

名称	转动平台（无传感器）	闭环控制特性/分辨率	-
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	-	闭环控制特性/定位精度	-
最小开环控制特性/步进量	0.0004°	开环控制特性/精密定位范围	0～0.012°
行程	360°	台面尺寸(mm)	30×30
导轨形式	球轴承	自重(kg)/铝合金型	0.028
最大速度	≈10°/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	2

ECR5050-Al/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECR5050-Al/RT

名称	转动平台（无传感器）	闭环控制特性/分辨率	-
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	-	闭环控制特性/定位精度	-
最小开环控制特性/步进量	0.0002°	开环控制特性/精密定位范围	0～0.006°
行程	360°	台面尺寸(mm)	50×50
导轨形式	球轴承	自重(kg)/铝合金型	0.1
最大速度	≈10°/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	2

ECS3030-Al/NUM/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECS3030-Al/NUM/RT

名称	X轴平台（随着传感器）	闭环控制特性/分辨率	1nm
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	50nm	闭环控制特性/定位精度	＜0.1% of travel range
最小开环控制特性/步进量	50nm	开环控制特性/精密定位范围	0～1.2μm
行程	20mm	台面尺寸(mm)	30×30
导轨形式	十字交叉滚柱	自重(kg)/铝合金型	0.029
最大速度	4.5mm/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	9

ECS3080-Al/NUM/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECS3080-Al/NUM/RT

名称	X轴平台（随着传感器）	闭环控制特性/分辨率	1nm
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	50nm	闭环控制特性/定位精度	＜0.1% of travel range
最小开环控制特性/步进量	50nm	开环控制特性/精密定位范围	0～1.6μm
行程	50mm	台面尺寸(mm)	30×80
导轨形式	十字交叉滚柱	自重(kg)/铝合金型	0.078
最大速度	4.5mm/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	24

ECS5050-Al/NUM/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECS5050-Al/NUM/RT

名称	X轴平台（随着传感器）	闭环控制特性/分辨率	1nm
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	50nm	闭环控制特性/定位精度	＜0.1% of travel range
最小开环控制特性/步进量	50nm	开环控制特性/精密定位范围	0～1.6μm
行程	30mm	台面尺寸(mm)	50×50
导轨形式	十字交叉滚柱	自重(kg)/铝合金型	0.07
最大速度	4.5mm/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	15

ECGt5050-Al/NUM/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECGt5050-Al/NUM/RT

名称	摆动平台（随着传感器）	闭环控制特性/分辨率	0.000001°
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	±0.00005°	闭环控制特性/定位精度	≈0.001°
最小开环控制特性/步进量	0.0001°	开环控制特性/精密定位范围	0～0.0014°
行程	10°	台面尺寸(mm)	50×50
导轨形式	十字交叉滚柱	自重(kg)/铝合金型	0.137
最大速度	≈3°/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	1

ECGp5050-Al/NUM/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECGp5050-Al/NUM/RT

名称	摆动平台（随着传感器）	闭环控制特性/分辨率	0.000001°
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	±0.00005°	闭环控制特性/定位精度	≈0.001°
最小开环控制特性/步进量	0.0001°	开环控制特性/精密定位范围	0～0.0011°
行程	10°	台面尺寸(mm)	50×50
导轨形式	十字交叉滚柱	自重(kg)/铝合金型	0.137
最大速度	≈3°/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	1

ECR3030-Al/NUM/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECR3030-Al/NUM/RT

名称	转动平台（随着传感器）	闭环控制特性/分辨率	0.00001°
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	±0.0005°	闭环控制特性/定位精度	≈0.002°
最小开环控制特性/步进量	0.0004°	开环控制特性/精密定位范围	0～0.012°
行程	360°	台面尺寸(mm)	30×30
导轨形式	球轴承	自重(kg)/铝合金型	0.028
最大速度	≈10°/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	2

ECR5050-Al/NUM/RT

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大行程纳米定位平台(停产) /ECR5050-Al/NUM/RT

名称	转动平台（随着传感器）	闭环控制特性/分辨率	0.00001°
闭环控制特性/重复定位精度(μm)	±0.0005°	闭环控制特性/定位精度	≈0.002°
最小开环控制特性/步进量	0.0002°	开环控制特性/精密定位范围	0～0.006°
行程	360°	台面尺寸(mm)	50×50
导轨形式	球轴承	自重(kg)/铝合金型	0.1
最大速度	≈10°/sec	承载能力(N)（垂直荷重）	2