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高耐久型自动转动平台平台尺寸φ60/φ80/φ120mm

说明

适用于硅片的打标等的微小角度调整用自动平台。

产地:日本
产品介绍
产品描述

RoHS 是

C E  是


●我们备有X轴,Z轴,和转动平台3种标准产品。组合使用的话,可实现多方位多自由度的自动定位。

●采用了高精度的5相步进电机驱动,容易实现更精密的定位。

●特别适用于微小角度的自动调整。

●驱动机构为丝杠,磨损和间隙小,耐久性好。

●丝杠带动钢带,将直线运动转换为转动,即使位置不同,其传动比也不变。


电机 类型HDS-60YAW 5相步进电机 0.75A/相(多摩川精机(株))、HDS-80YAW、HDS-120YAW 5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR(株))
电机 型号HDS-60YAW TS3664N4E10(□24mm)、HDS-80YAW、HDS-120YAW PK523HPB-C12(□28mm)  
电机 步距角0.72°
极限位置传感器有(常闭)
原点传感器有(常开)
近接原点传感器
传感器 电源电压DC5~24V±10%
传感器 消耗电流60mA以下(单个传感器20mA以下)
传感器 输出端电气特性NPN集电极开路输出 DC30V以下50mA以下
传感器 信号的含义遮光时 输出晶体管OFF(截止):极限位置传感器;遮光时 输出晶体管ON(导通):原点传感器


通用指标
表面处理 黑色氧化
导轨形式 滚动轴承(HDS-120YAW:十字交叉滚柱)
搭配驱动器 SG-5M、SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
搭配控制器 GSC-01、GIP-101B、GSC-02C、SHOT-702H、HSC-103、SHRC-203、PGC-04-U、HIT-PKG、HIT-M・HIT-S
型号 台面尺寸(mm) 转动范围(°) 定位精度(°) 重复定位精度(°) 分辨率(整步/半步)[°/脉冲] 承载能力(N) 对比 单价 发货日期 购物车
HDS-60YAW
φ60 ±5 0.05 0.003 ≈0.0053/0.0027 29.4(3.0kgf)
会员可见 咨询
高耐久型自动转动平台平台尺寸φ60/φ80/φ120mm /HDS-60YAW
台面尺寸(mm) φ60 转动范围(°) ±5
定位精度(°) 0.05 重复定位精度(°) 0.003
平行度(μm) 50 同心度(μm) 10
空行程(°) 0.003 最小位移量(mdeg) (参考数据) 0.5
分辨率(整步/半步)[°/脉冲] ≈0.0053/0.0027 传动副间隙(°) 0.05
台面跳动量(μm) 0.01 扭矩刚度(″/N・cm) 1
驱动机构 滚珠丝杠+钢带 最大速度(°/sec) 60
承载能力(N) 29.4(3.0kgf) 主体材料 铝合金
自重(kg) 0.5
HDS-80YAW
φ80 ±5 0.05 0.003 ≈0.0038/0.0019 58.8(6.0kgf)
会员可见 咨询
高耐久型自动转动平台平台尺寸φ60/φ80/φ120mm /HDS-80YAW
台面尺寸(mm) φ80 转动范围(°) ±5
定位精度(°) 0.05 重复定位精度(°) 0.003
平行度(μm) 50 同心度(μm) 10
空行程(°) 0.003 最小位移量(mdeg) (参考数据) 0.5
分辨率(整步/半步)[°/脉冲] ≈0.0038/0.0019 传动副间隙(°) 0.05
台面跳动量(μm) 0.01 扭矩刚度(″/N・cm) 0.2
驱动机构 滚珠丝杠+钢带 最大速度(°/sec) 60
承载能力(N) 58.8(6.0kgf) 主体材料 铝合金
自重(kg) 1.3
HDS-120YAW
φ120 ±5 0.05 0.003 ≈0.0022/0.0011 98(10.0kgf)
会员可见 咨询
高耐久型自动转动平台平台尺寸φ60/φ80/φ120mm /HDS-120YAW
台面尺寸(mm) φ120 转动范围(°) ±5
定位精度(°) 0.05 重复定位精度(°) 0.003
平行度(μm) 50 同心度(μm) 10
空行程(°) 0.003 最小位移量(mdeg) (参考数据) 0.5
分辨率(整步/半步)[°/脉冲] ≈0.0022/0.0011 传动副间隙(°) 0.05
台面跳动量(μm) 0.01 扭矩刚度(″/N・cm) 0.1
驱动机构 滚珠丝杠+钢带 最大速度(°/sec) 60
承载能力(N) 98(10.0kgf) 主体材料 铝合金
自重(kg) 2
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